发布日期:2025-02-18
本站消息,根据天眼查APP数据显示芯联集成(688469)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种贴膜设备”配资炒股理财平台,专利申请号为CN202421023010.2,授权日为2025年2月11日。 专利摘要:本申请公开了一种贴膜设备,包括:晶圆承载组件,包括底板和沿周向环绕底板的第一环形凸台,第一环形凸台用于承载晶圆,第一环形凸台中设置有第一吸附孔,第一吸附孔用于吸附晶圆,底板中设置有第一气孔,第一气孔用于调整晶圆与晶圆承载组件之间形成的腔室的气压;薄膜吸附组件,薄膜吸附组件朝向晶圆承...